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La première machine High-NA EUV livrée cette année par ASML
ASML gamme EXE:5000
ASML investor day 2021 / roadmap euv 2024 2025

En dépit des problématiques liées à leurs propres fournisseurs, ASML sera à l'heure du High-NA EUV, la machinerie de gravure par lithographie embarquant des optiques d'ouverture numérique 0,55 NA, vs 0,33 sur la génération précédente, et sera apte à livrer sa première EXE:5000 à la fin de cette année selon Reuters. Les scanners les plus performants actuellement déployés chez TSMC sont les gammes de Twinscan NXE:3400C et NXE:3400D d'une résolution de 13 nm permettant la fabrication de puces jusqu'à des nodes de 5 nm.

 

Avec ces nouvelles machines, estimées entre 300 et 400 millions de $ par tête, la résolution passe à 8 nm et permettra d'embrayer sur les nœuds de gravures plus fin, coucou Intel 18A, en en simplifiant la mise au point. Puis dans un second temps, la fabrication avec une autre machine : l'EXE:5200, apte à sortir 200 wafers de l'heure, pour l'idée. D'embrayer face aux techniques alternatives de décomposition optique en plusieurs masques, comme le multi-patterning ou le pattern-shaping, plus coûteuses. Car les clients sur ce type de bouzins se comptent sur les doigts d'une main : TSMC la belle, Samsung le truand, Micron le bon, SK Hynix la bête et Intel la brute, ce dernier étant connu pour être le premier à être servi cette fois, probablement sur le site de la Fab D1X en Arizona d'après Peter Wennick, le CEO d'ASML.

 

ASML gamme EXE:5000 [cliquer pour agrandir]

On ne les trouve pas chez Ikea ces TwinScan EXE:5000

 

On se rappellera avec une certaine émotion du fourvoyage (du verbe se fourvoyer sa mère) magistral d'Intel au sujet du virage nécessaire sur ce type d'investissements, qui les aura conduits à des années de stagnation technologique sur la dernière décennie obligeant le fondeur à déplacer ses trésors d'ingéniosités du passé en vue de faire perdurer les générations de puces 14 nm bien trop longtemps. Une erreur que le californien a bien mieux anticipé cette fois avec l'ère imminente — à l'échelle industrielle, pas marketing — de l'Angström, c'est-à-dire le 0,1 nm et au-delà. Le début de production Intel 18A reste fixé à la seconde moitié 2024.

 

ASML investor day 2021 / roadmap euv 2024 2025 [cliquer pour agrandir]

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